計(jì)量光柵是利用光柵形成的莫爾條紋原理進(jìn)行工作的。計(jì)量光柵的柵距較大，通常E28F016SA-D100-5V情況下柵距c=0. 004mm~0.05 mm。由于計(jì)量光柵具有形成莫爾條紋的特點(diǎn)，因此在精密測(cè)長(zhǎng)和測(cè)角的光電儀器中不僅作為長(zhǎng)度與角度的校準(zhǔn)器，隨光電技術(shù)的發(fā)展，目前計(jì)量光柵更多地作為光柵傳感器應(yīng)用于各種數(shù)控設(shè)備。它與電子細(xì)分技術(shù)相配合，得到很高的分辨率和測(cè)量精度。

   計(jì)量光柵按刻線表面的結(jié)構(gòu)可分為幅值光柵和相位光柵。幅值光柵也稱(chēng)黑白光柵。表面刻線如圖4 -4(a)所示，其特點(diǎn)是柵線與縫隙黑白相間，通常采用母光柵照相復(fù)制法加工而成。黑白光柵的柵距，一般為c=0. Olmm一0.05mm。相位光柵也稱(chēng)閃耀光柵，表面刻線如圖4 -4(b)所示，其橫截面呈鋸齒狀，通常用刻劃方法直接加工而成。相位光柵的柵距較小，一般為c=0. 004mm一0.Olmm。

   按載體的形狀計(jì)量光柵可分為長(zhǎng)光柵和圓光柵。長(zhǎng)光柵用于長(zhǎng)度測(cè)量，柵線數(shù)通常在25線對(duì)/mm以上；圓光柵用于角度測(cè)量，棚距角沙一般不小于1’。

   黑白光柵與相位光柵都可采用玻璃載體刻制成透射光柵，或在具有強(qiáng)反射能力的金屬帶表面刻制成反射光柵。在圓光柵中一般只采用黑白透射光柵。目前，在光電儀器中對(duì)于正弦光柵，偏振光柵和全息光柵等應(yīng)用也日益增多。計(jì)量光柵的主要類(lèi)型，可歸納為圖4 -5所示的方框圖。