計量光柵是利用光柵形成的莫爾條紋原理進行工作的
發(fā)布時間:2015/5/29 21:40:43 訪問次數(shù):3880
計量光柵是利用光柵形成的莫爾條紋原理進行工作的。計量光柵的柵距較大,通常E28F016SA-D100-5V情況下柵距c=0. 004mm~0.05 mm。由于計量光柵具有形成莫爾條紋的特點,因此在精密測長和測角的光電儀器中不僅作為長度與角度的校準器,隨光電技術(shù)的發(fā)展,目前計量光柵更多地作為光柵傳感器應(yīng)用于各種數(shù)控設(shè)備。它與電子細分技術(shù)相配合,得到很高的分辨率和測量精度。
計量光柵按刻線表面的結(jié)構(gòu)可分為幅值光柵和相位光柵。幅值光柵也稱黑白光柵。表面刻線如圖4 -4(a)所示,其特點是柵線與縫隙黑白相間,通常采用母光柵照相復(fù)制法加工而成。黑白光柵的柵距,一般為c=0. Olmm一0.05mm。相位光柵也稱閃耀光柵,表面刻線如圖4 -4(b)所示,其橫截面呈鋸齒狀,通常用刻劃方法直接加工而成。相位光柵的柵距較小,一般為c=0. 004mm一0.Olmm。
按載體的形狀計量光柵可分為長光柵和圓光柵。長光柵用于長度測量,柵線數(shù)通常在25線對/mm以上;圓光柵用于角度測量,棚距角沙一般不小于1’。
黑白光柵與相位光柵都可采用玻璃載體刻制成透射光柵,或在具有強反射能力的金屬帶表面刻制成反射光柵。在圓光柵中一般只采用黑白透射光柵。目前,在光電儀器中對于正弦光柵,偏振光柵和全息光柵等應(yīng)用也日益增多。計量光柵的主要類型,可歸納為圖4 -5所示的方框圖。
計量光柵是利用光柵形成的莫爾條紋原理進行工作的。計量光柵的柵距較大,通常E28F016SA-D100-5V情況下柵距c=0. 004mm~0.05 mm。由于計量光柵具有形成莫爾條紋的特點,因此在精密測長和測角的光電儀器中不僅作為長度與角度的校準器,隨光電技術(shù)的發(fā)展,目前計量光柵更多地作為光柵傳感器應(yīng)用于各種數(shù)控設(shè)備。它與電子細分技術(shù)相配合,得到很高的分辨率和測量精度。
計量光柵按刻線表面的結(jié)構(gòu)可分為幅值光柵和相位光柵。幅值光柵也稱黑白光柵。表面刻線如圖4 -4(a)所示,其特點是柵線與縫隙黑白相間,通常采用母光柵照相復(fù)制法加工而成。黑白光柵的柵距,一般為c=0. Olmm一0.05mm。相位光柵也稱閃耀光柵,表面刻線如圖4 -4(b)所示,其橫截面呈鋸齒狀,通常用刻劃方法直接加工而成。相位光柵的柵距較小,一般為c=0. 004mm一0.Olmm。
按載體的形狀計量光柵可分為長光柵和圓光柵。長光柵用于長度測量,柵線數(shù)通常在25線對/mm以上;圓光柵用于角度測量,棚距角沙一般不小于1’。
黑白光柵與相位光柵都可采用玻璃載體刻制成透射光柵,或在具有強反射能力的金屬帶表面刻制成反射光柵。在圓光柵中一般只采用黑白透射光柵。目前,在光電儀器中對于正弦光柵,偏振光柵和全息光柵等應(yīng)用也日益增多。計量光柵的主要類型,可歸納為圖4 -5所示的方框圖。
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