光柵定位測(cè)量系統(tǒng)
發(fā)布時(shí)間:2015/5/29 21:39:16 訪問次數(shù):1533
在光電儀器中使用的光柵,E1S38-2M1C6-01可以看作是刻線間距很小的標(biāo)尺和度盤。在圖4 -4所示的光柵放大圖中,n為光柵的柵線寬度,6為光柵的縫隙寬度即透光間隙,妒為相位光柵的斜角。光柵相鄰兩柵線的距離c=a+b稱為光柵的柵距或節(jié)距。在多數(shù)情況下,光線的柵線和縫隙是等寬度的,即o =b= c/2。
光柵的種類很多,按其工作原理和用途可分為物理光柵和計(jì)量光柵。
物理光柵是利用光柵的衍射效應(yīng)而分光的原理進(jìn)行工作的。物理光柵的柵距較小,一般接近于光譜的波長(zhǎng),柵距c=0. 51.t,m~ 2ht,m。物理光柵主要作為色散元件應(yīng)用于光譜分析和測(cè)量等物理光學(xué)儀器中。
計(jì)量光柵是利用光柵形成的莫爾條紋原理進(jìn)行工作的。計(jì)量光柵的柵距較大,通常情況下柵距c=0. 004mm~0.05 mm。由于計(jì)量光柵具有形成莫爾條紋的特點(diǎn),因此在精密測(cè)長(zhǎng)和測(cè)角的光電儀器中不僅作為長(zhǎng)度與角度的校準(zhǔn)器,隨著光電技術(shù)的發(fā)展,目前計(jì)量光柵更多地作為光柵傳感器應(yīng)用于各種數(shù)控設(shè)備。它與電子細(xì)分技術(shù)相配合,得到很高的分辨率和測(cè)量精度。
在光電儀器中使用的光柵,E1S38-2M1C6-01可以看作是刻線間距很小的標(biāo)尺和度盤。在圖4 -4所示的光柵放大圖中,n為光柵的柵線寬度,6為光柵的縫隙寬度即透光間隙,妒為相位光柵的斜角。光柵相鄰兩柵線的距離c=a+b稱為光柵的柵距或節(jié)距。在多數(shù)情況下,光線的柵線和縫隙是等寬度的,即o =b= c/2。
光柵的種類很多,按其工作原理和用途可分為物理光柵和計(jì)量光柵。
物理光柵是利用光柵的衍射效應(yīng)而分光的原理進(jìn)行工作的。物理光柵的柵距較小,一般接近于光譜的波長(zhǎng),柵距c=0. 51.t,m~ 2ht,m。物理光柵主要作為色散元件應(yīng)用于光譜分析和測(cè)量等物理光學(xué)儀器中。
計(jì)量光柵是利用光柵形成的莫爾條紋原理進(jìn)行工作的。計(jì)量光柵的柵距較大,通常情況下柵距c=0. 004mm~0.05 mm。由于計(jì)量光柵具有形成莫爾條紋的特點(diǎn),因此在精密測(cè)長(zhǎng)和測(cè)角的光電儀器中不僅作為長(zhǎng)度與角度的校準(zhǔn)器,隨著光電技術(shù)的發(fā)展,目前計(jì)量光柵更多地作為光柵傳感器應(yīng)用于各種數(shù)控設(shè)備。它與電子細(xì)分技術(shù)相配合,得到很高的分辨率和測(cè)量精度。
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