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透射分光式光柵讀數(shù)頭的光路系統(tǒng)

發(fā)布時間:2015/5/30 17:30:10 訪問次數(shù):736

   在實際使用中,為了EP1C20F324C7N判別光柵的移動方向,補償直流電平的漂移,以及對光柵柵距進行細分等,常采用四極硅光電池接收條紋光信號而輸出四相光電信號。當(dāng)主光柵移過一個柵距而莫爾條紋移過一個間距時,四極硅光電池中各片順序輸出相位分別為00、900、1800、2700的四個正弦信號,即得到sin4、cos咖、- sin~、- cos咖四相信號。

   近年來,在鋼帶或鋼基板上制成的反射光柵應(yīng)用日益增多。這是因為它與透射式玻璃光柵相比,反射式鋼帶光柵具有堅固耐用,線脹系數(shù)與工件相似等優(yōu)點。圖4 -20(b)為反射式光柵讀數(shù)頭的光路系統(tǒng)圖。光源1發(fā)出的光束經(jīng)聚光鏡2和場鏡7后成平行光束,并以一定的傾角照射指示光柵6,光束透過后經(jīng)反射式主光柵5反射后形成莫爾條紋又經(jīng)反射鏡8和物鏡3成像于硅光電池4上,實現(xiàn)莫爾條紋光信號的光電轉(zhuǎn)換。

   分光式讀數(shù)頭。分光式光柵讀數(shù)頭適用于相位光柵系統(tǒng)。典型的光路系統(tǒng)如圖4 - 21所示。

       

   l-光電接收器;2-狹縫;3-聚光鏡;4-指示光柵;5-圭光柵;6-聚光鏡;7-光源;8-分光棱鏡。

   圖4 -21(a)為透射分光式光柵讀數(shù)頭的光路系統(tǒng)圖。從光源7發(fā)出的光束經(jīng)聚光鏡6成平行光束而照明主光柵5和指示光柵4,由于兩塊相位光柵的衍射結(jié)果,將產(chǎn)生多級衍射光譜。若從主光柵出射的是0級和1級衍射光束,再經(jīng)過指示光柵的衍射,可得到

(0,1)、(0,0)和(1,0)、(1,1)四個波陣面。由于聚光鏡3和狹縫2會聚(0,1)、(1,O)兩個波陣面,并由光電接收器l接收而轉(zhuǎn)換成光柵電信號。

   在實際使用中,為了EP1C20F324C7N判別光柵的移動方向,補償直流電平的漂移,以及對光柵柵距進行細分等,常采用四極硅光電池接收條紋光信號而輸出四相光電信號。當(dāng)主光柵移過一個柵距而莫爾條紋移過一個間距時,四極硅光電池中各片順序輸出相位分別為00、900、1800、2700的四個正弦信號,即得到sin4、cos咖、- sin~、- cos咖四相信號。

   近年來,在鋼帶或鋼基板上制成的反射光柵應(yīng)用日益增多。這是因為它與透射式玻璃光柵相比,反射式鋼帶光柵具有堅固耐用,線脹系數(shù)與工件相似等優(yōu)點。圖4 -20(b)為反射式光柵讀數(shù)頭的光路系統(tǒng)圖。光源1發(fā)出的光束經(jīng)聚光鏡2和場鏡7后成平行光束,并以一定的傾角照射指示光柵6,光束透過后經(jīng)反射式主光柵5反射后形成莫爾條紋又經(jīng)反射鏡8和物鏡3成像于硅光電池4上,實現(xiàn)莫爾條紋光信號的光電轉(zhuǎn)換。

   分光式讀數(shù)頭。分光式光柵讀數(shù)頭適用于相位光柵系統(tǒng)。典型的光路系統(tǒng)如圖4 - 21所示。

       

   l-光電接收器;2-狹縫;3-聚光鏡;4-指示光柵;5-圭光柵;6-聚光鏡;7-光源;8-分光棱鏡。

   圖4 -21(a)為透射分光式光柵讀數(shù)頭的光路系統(tǒng)圖。從光源7發(fā)出的光束經(jīng)聚光鏡6成平行光束而照明主光柵5和指示光柵4,由于兩塊相位光柵的衍射結(jié)果,將產(chǎn)生多級衍射光譜。若從主光柵出射的是0級和1級衍射光束,再經(jīng)過指示光柵的衍射,可得到

(0,1)、(0,0)和(1,0)、(1,1)四個波陣面。由于聚光鏡3和狹縫2會聚(0,1)、(1,O)兩個波陣面,并由光電接收器l接收而轉(zhuǎn)換成光柵電信號。

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