二維PSD。二維PSD用于測(cè)定入射光點(diǎn)的二維坐標(biāo)，在一方形結(jié)構(gòu)PSD上有兩對(duì)互相垂直的輸出電極，EP1C4F324C8N輸出電極的引出方式有兩種類型。

   表面分流型PSD。其結(jié)構(gòu)如圖4- 26(a)所示，它的兩對(duì)電極由同一面引出。這種類型的暗電流小，但非線性誤差較大。圖4 -26(b)所示為改進(jìn)的表面分流型PSD，它采用了弧形電極，信號(hào)在對(duì)角線上引出，從而可減小非線性誤差。

   圖4 -26二維PSD的結(jié)構(gòu)

   兩面分流型PSD。其結(jié)構(gòu)如圖4-26(c)所示，它的兩對(duì)電極分別由上下兩面弓出。這種類型的線性好，但暗點(diǎn)流大，且難以引出公共電極而較難加反向偏壓。