光軸的調(diào)整是干涉測(cè)量系統(tǒng)中的重要問(wèn)題。所謂光AT28C256-15PU軸的調(diào)整是指測(cè)量光束應(yīng)與主機(jī)z、y運(yùn)動(dòng)方向的平行度的調(diào)整。由于采用五角棱鏡，石、y的運(yùn)動(dòng)垂直度可由棱鏡的加工精度保證，只要調(diào)整一個(gè)運(yùn)動(dòng)方向即可，提升棱鏡（兩塊直角棱鏡5，8）的結(jié)構(gòu)設(shè)有

微調(diào)結(jié)構(gòu)，調(diào)好后鎖緊即可保證工作穩(wěn)定。

   果用蘭姆下陷法進(jìn)行穩(wěn)頻。

   例4 -2  電子束曝光機(jī)的激光干涉系統(tǒng)。

   圖4。-33是中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所研制的電子束曝光機(jī)中的激光干涉定位測(cè)量系統(tǒng)的光路圖。它與自動(dòng)分步重復(fù)照相機(jī)中的光路不同，其特點(diǎn)是：

   ①采用擴(kuò)束系統(tǒng)。

   ②組合干涉析光鏡。

   ③普諾棱鏡。

   ④光電倍增管作為接收元件。

   ⑤用對(duì)準(zhǔn)器來(lái)保證更換激光器時(shí)，不必調(diào)整干涉儀。