熱電堆紅外探測器通常由三部分組成：熱電偶、介質(zhì)支撐層和散熱襯底。 CNB1002OR1SO通常熱電堆紅外探測器有三種結(jié)構(gòu)。

   封閉膜結(jié)構(gòu)[96]

   探測器中央是紅外畈收層，負(fù)責(zé)吸收外界紅外輻射，以升高自身的溫度。紅外吸收層及其附近位置就構(gòu)成熱電堆的熱結(jié)。熱電堆的冷結(jié)位于基體上，基體一般是導(dǎo)熱性良好的物質(zhì)，以實現(xiàn)良好的散熱性，保持基體與環(huán)境的溫度一致，圖3-15所示基體為單晶硅。熱結(jié)與冷結(jié)之間為串聯(lián)的熱偶對，溫差電動勢通過引

腳對外輸出。為了提高探測器的性能，需要采取隔熱措施，圖3 -15中采取的是薄膜方式的隔熱結(jié)構(gòu)，即利用硅的各向異性腐蝕，從背后將體硅腐蝕掉，形成金第3章紅外敏感元件及探測器    ．45．字塔型的槽，槽壁為慢腐蝕面( 111)，紅外吸收層以及熱偶對都位于該層之上，結(jié)構(gòu)組成，稱其為封閉膜就是指該支撐層與硅基體處處相連，在封裝之后，形成上下兩個空間。