紅外吸收層，也就是CNB13030R2AU熱電堆的熱結(jié)在懸臂梁的前端部分，冷結(jié)位于硅基體上。通過硅的腐蝕，從而形成金字塔型的腐蝕槽，同時(shí)正面采用MEMS加工工藝，去除部分介質(zhì)層，使前后貫通，構(gòu)成懸臂梁結(jié)構(gòu)。紅外吸收層與熱偶對(duì)都在該懸臂梁上，懸臂梁一般由復(fù)合的介質(zhì)層組成，以消只在表面留下一層極薄的介質(zhì)支撐層，圖中該介質(zhì)層由S102與S13 N4的三明治除應(yīng)力，保持懸臂梁的平直性。懸臂梁只通過固支端與硅基體相連，周圍是導(dǎo)熱性能較差的氣體介質(zhì)（或真空）。當(dāng)懸臂梁與基體間通過兩個(gè)固支端相連時(shí)，被稱為懸橋結(jié)構(gòu)。懸臂梁式熱堆結(jié)構(gòu)的熱阻由懸臂梁方塊熱阻與懸臂梁長(zhǎng)寬比的乘積決定。懸臂梁熱阻可以通過改變其長(zhǎng)寬比而達(dá)到比封閉模式結(jié)構(gòu)的熱阻大得多的數(shù)值。這種結(jié)構(gòu)的另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是熱堆的熱端面積可以設(shè)計(jì)得很大，從而增大其響應(yīng)率。但是，懸臂梁結(jié)構(gòu)機(jī)械上非常脆駒，給加工和操作帶來了困難。這種熱堆結(jié)構(gòu)的特點(diǎn)是熱阻較大，時(shí)間常數(shù)較長(zhǎng)，器件響應(yīng)率較大，但機(jī)械強(qiáng)度較小。懸臂梁結(jié)構(gòu)如圖3 -16所示。