物質的另一個重要方面就是壓力。UC2853N壓力作為一種性質通常用于液體和氣體。壓力定義為施加在容器表面上單位面積的力。氣缸中的氣壓迫使氣體進入工藝反應室。所有的工藝機器

都用氣壓表來測量和控制氣壓。

   氣壓表示為英磅每平方英寸( psia)，大氣壓或托(Torr)①。一個大氣壓就是在特定溫度下包圍地球的大氣壓力。這樣，高壓氧化系統(tǒng)在5個大氣壓下工作，其壓力是大氣壓的5倍。

   空氣的大氣壓為14.7 psia，在氣缸中氣壓要用psig或英磅每平方英寸來表示。這意味著儀表的讀數(shù)是絕對的，它并不包括外界的大氣壓。

   真空( vacuum)也是在半導體工藝中要遇到的術語和情況，它實際上是低壓的情況。一般來說，壓力低于標準大氣壓就認為是真空。真空條件是用壓力單位來衡量的。

   低壓傾向于用托來表示。這個單位是以意大利科學家托里切利( Torricelli)命名的，他存氣體和其性質領域做出了很多重要發(fā)現(xiàn)。1托就是壓力計中1毫米汞柱( manometer)所對應桷匿。

   如圖2. 18(a)所示，想象當壓力超過大氣壓時對壓力計中水銀柱的影響。當壓力升高，在盤子里的水銀受壓而使水銀柱升高。現(xiàn)在想象當氣體從系統(tǒng)中抽走形成真空時會怎樣[見圖2. 18(b)l?只要有任何氣體分子或原子在壓力計中，施加在盤中的水銀上的壓力就會很小，從而水銀柱就會升高一點點但很有限。水銀柱變化是毫米( mm)級的，是與壓力相關的，或者在這種隋況下是與真空有關的。