熱處理是簡單地將晶圓加熱和冷卻來達到特定結(jié)果的制程（見圖4. 16）  ST3426在熱處理的過程中（見圖4. 17），在晶圜}二沒有增加或減去任何物質(zhì)，然而一L藝過程叮能會在晶圓中或晶圓f：面產(chǎn)牛污染.

   在離子注入制程后會有·步重要的熱處理摻雜原子的注入所造成的晶圓損傷會被熱處理修復(fù)，這稱為退火( anneal)，溫度在1000℃左右  另外，金屬導(dǎo)線在晶圓f：制成后會有步熱處理，這螳導(dǎo)線在電路的各個器件之問承載電流，為r確保好的導(dǎo)電性，金屬會在450。C熱處理后與晶圓表面緊密熔合熱處理的第三種重要用途是通過加熱在晶圓表面的光刻膠將溶劑蒸發(fā)掉，從而得劍精確的圖形