摻氯氧化：更薄OPA2349UA的MOS柵極氧化要求非常潔凈的膜層。當(dāng)在氧中加入氯時(shí)，器件的性能和潔凈度就會(huì)得到改善。，氯可以減少氧化層里的移動(dòng)離子電荷，減少硅表面及氧化層的結(jié)構(gòu)缺陷，減少氧化膜和硅界面的電荷。氯來(lái)自干氧氣流中氯氣( Cl：)、氯化氫(HCl)、三氯乙烯( TCE)或氯仿(TCA)。對(duì)于氣態(tài)源，氯、氯化氫以及氧氣由不同氣體流量計(jì)控制進(jìn)入爐管。對(duì)于液態(tài)源，像三氯乙烯( TCE)或氯仿(TCA)，從液態(tài)發(fā)泡器中以氣態(tài)形式進(jìn)入爐管。從安全和方便的角度來(lái)講，氯仿( TCA)是比較好的氯源。摻氯氧化循環(huán)可以在一步反應(yīng)里完成，也可以在于氧前或干氧后進(jìn)行。

   氧化后，通常借助于紫外(UV)燈進(jìn)行一個(gè)快速的表面檢查。這些高強(qiáng)度的光源可以使操作者看見(jiàn)肉眼看不到的小穎粒和瑕疵。有時(shí)還要進(jìn)行顯微鏡的表面檢查。

   自動(dòng)晶圓裝載：一旦晶圓進(jìn)化到200 mm直徑以后，裝卸晶圓對(duì)于水平式爐管操作員變成了一個(gè)挑戰(zhàn)。一批水平式石英晶圓承載架很重，甚至對(duì)于機(jī)器手裝載進(jìn)水平式爐管也是笨拙和低效率的（見(jiàn)圖7. 28）。裝卸單個(gè)晶圓進(jìn)出垂直式疊放爐就容易多了。拿取一放置式機(jī)械，有時(shí)也稱機(jī)械手( robot)從晶圓片架(cassette)取出一片晶圓，然后把它放入一個(gè)爐用石英舟里。對(duì)于晶圓裝舟系統(tǒng)，難點(diǎn)在于把測(cè)試片、生產(chǎn)片和“假片”正確地放到石英舟里（假片通常是放在頂部和底部）。這些晶圓必須從不同的石英舟中取出。