理想的清洗工藝是應(yīng)用那些完全安全、易于并比較經(jīng)濟(jì)地進(jìn)行處理的化學(xué)品，RT9167-33GB并且在室溫下進(jìn)行，這種工藝并不存在。然而，關(guān)于室溫下化學(xué)反應(yīng)的研究正在進(jìn)行。其中一種38足將臭氧與另外兩種濃度的氫氟酸溶液（見圖5. 28）在室溫下注入盛有超純凈水的清洗池。兆頻超聲波作為輔助以提高清洗的有效性。

   噴灑清洗：標(biāo)準(zhǔn)的清洗技術(shù)是浸泡在濕法清洗臺(tái)或全自動(dòng)機(jī)器的化學(xué)池中進(jìn)行的。當(dāng)濕法清洗被應(yīng)用到0. 35~0.50 ym的技術(shù)時(shí)代時(shí)，也相應(yīng)出現(xiàn)f-些顧慮�；瘜W(xué)品越來越多，浸泡在池中會(huì)導(dǎo)致污染物的再次沉積，而且晶片表面越來越小，越來越深的圖形阻礙了清洗的有效性，，多樣的清洗方法于是開始結(jié)合。噴灑清洗具有幾個(gè)優(yōu)越性。化學(xué)品直接噴到晶圓表面而無須在池中保持大量的儲(chǔ)備，導(dǎo)致化學(xué)品的成本降低�；瘜W(xué)品用量的減少也使得處理和除去運(yùn)輸化學(xué)廢物的開銷降低。清洗效果也有所提高。噴灑的壓力有助于清洗晶圓表面帶有深孔的很小圖形，而且，再次污染的概率也會(huì)變小。噴灑的方法由于晶圓每次接觸的都是新鮮的化學(xué)品，使允許清洗后藏即進(jìn)行清水沖淋，而無須移至另外的一一個(gè)清水沖洗臺(tái)進(jìn)行.