理想的清洗工藝是應(yīng)用那些完全安全、易于并比較經(jīng)濟地進行處理的化學品，RT9167-33GB并且在室溫下進行，這種工藝并不存在。然而，關(guān)于室溫下化學反應(yīng)的研究正在進行。其中一種38足將臭氧與另外兩種濃度的氫氟酸溶液（見圖5. 28）在室溫下注入盛有超純凈水的清洗池。兆頻超聲波作為輔助以提高清洗的有效性。

   噴灑清洗：標準的清洗技術(shù)是浸泡在濕法清洗臺或全自動機器的化學池中進行的。當濕法清洗被應(yīng)用到0. 35~0.50 ym的技術(shù)時代時，也相應(yīng)出現(xiàn)f-些顧慮�；瘜W品越來越多，浸泡在池中會導致污染物的再次沉積，而且晶片表面越來越小，越來越深的圖形阻礙了清洗的有效性，，多樣的清洗方法于是開始結(jié)合。噴灑清洗具有幾個優(yōu)越性�；瘜W品直接噴到晶圓表面而無須在池中保持大量的儲備，導致化學品的成本降低。化學品用量的減少也使得處理和除去運輸化學廢物的開銷降低。清洗效果也有所提高。噴灑的壓力有助于清洗晶圓表面帶有深孔的很小圖形，而且，再次污染的概率也會變小。噴灑的方法由于晶圓每次接觸的都是新鮮的化學品，使允許清洗后藏即進行清水沖淋，而無須移至另外的一一個清水沖洗臺進行.