有兩種方法可以減輕晶圓的翹曲：K5D1257DCA-D090種是逐漸升降( ramping)或溫度逐漸升降( temperature ramping)。、這種技術(shù)}上爐管平  工藝溫度時(shí)保持在一個(gè)低于反應(yīng)溫度幾百攝氏度的溫度r|‘，晶圓在此溫度下被緩慢送人爐管，  待機(jī)溫度然后經(jīng)過(guò)一個(gè)短暫的溫度穩(wěn)定期，控制器o自動(dòng)把溫度加到設(shè)定值。j在工藝反應(yīng)的最后，爐管被冷卻到低溫，然后卸載晶圓。在逐步溫控時(shí)，控制器必須保持爐管恒溫Ⅸ( flat  zone)的溫度控制。由于石英爐管的退化現(xiàn)象和需要很長(zhǎng)時(shí)間來(lái)使恒溫區(qū)溫度穩(wěn)定，反應(yīng)爐需要一天24小時(shí)保持接近工藝所需的溫度。但從經(jīng)濟(jì)角度來(lái)考慮，一砦晶圓制造商，喜歡在不生產(chǎn)時(shí)把溫度保持在低溫，這稱為待機(jī)狀態(tài)( idle)

   第二種防止晶圓翹曲的方法是緩慢地把裝載晶圓的石英舟推進(jìn)爐管。推進(jìn)速率在每分鐘英寸時(shí)，翹曲最�。�、對(duì)于大直徑晶圓和多晶圓批量生產(chǎn)時(shí)，以上兩種方法會(huì)同時(shí)使用、然而，這樣慢裝載延長(zhǎng)了總的T藝過(guò)程時(shí)間。垂直式爐管將這一問(wèn)題減到最小，

   另外個(gè)對(duì)加熱系統(tǒng)的要求是在裝載晶圓迸入爐管后，要有…個(gè)快速的恢復(fù)時(shí)間  當(dāng)滿載時(shí)，溫度會(huì)下降50℃或更多“)、加熱系統(tǒng)應(yīng)在不引起翹曲或溫度過(guò)沖的前提下，盡快使恒溫區(qū)( flat zone)達(dá)到工藝要求的溫度、菠爐的典型溫度恢復(fù)曲線，

   一個(gè)在實(shí)際生產(chǎn)應(yīng)用中的管式反應(yīng)爐有3~4個(gè)爐管，每個(gè)爐管有自己的溫度控制器這些爐管垂直地疊放在一起，爐管接在排風(fēng)腔上，排風(fēng)腔把反應(yīng)完的氣體和熱氣排出爐管、反應(yīng)爐的這部分連接到廠房設(shè)施的排氣系統(tǒng)上，此系統(tǒng)包含一個(gè)廢氣處理器來(lái)進(jìn)行廢氣處理、