有兩種方法可以減輕晶圓的翹曲：K5D1257DCA-D090種是逐漸升降( ramping)或溫度逐漸升降( temperature ramping)。、這種技術(shù)}上爐管平  工藝溫度時保持在一個低于反應溫度幾百攝氏度的溫度r|‘，晶圓在此溫度下被緩慢送人爐管，  待機溫度然后經(jīng)過一個短暫的溫度穩(wěn)定期，控制器o自動把溫度加到設(shè)定值。j在工藝反應的最后，爐管被冷卻到低溫，然后卸載晶圓。在逐步溫控時，控制器必須保持爐管恒溫Ⅸ( flat  zone)的溫度控制。由于石英爐管的退化現(xiàn)象和需要很長時間來使恒溫區(qū)溫度穩(wěn)定，反應爐需要一天24小時保持接近工藝所需的溫度。但從經(jīng)濟角度來考慮，一砦晶圓制造商，喜歡在不生產(chǎn)時把溫度保持在低溫，這稱為待機狀態(tài)( idle)

   第二種防止晶圓翹曲的方法是緩慢地把裝載晶圓的石英舟推進爐管。推進速率在每分鐘英寸時，翹曲最小．、對于大直徑晶圓和多晶圓批量生產(chǎn)時，以上兩種方法會同時使用、然而，這樣慢裝載延長了總的T藝過程時間。垂直式爐管將這一問題減到最小，

   另外個對加熱系統(tǒng)的要求是在裝載晶圓迸入爐管后，要有…個快速的恢復時間  當滿載時，溫度會下降50℃或更多“)、加熱系統(tǒng)應在不引起翹曲或溫度過沖的前提下，盡快使恒溫區(qū)( flat zone)達到工藝要求的溫度、菠爐的典型溫度恢復曲線，

   一個在實際生產(chǎn)應用中的管式反應爐有3~4個爐管，每個爐管有自己的溫度控制器這些爐管垂直地疊放在一起，爐管接在排風腔上，排風腔把反應完的氣體和熱氣排出爐管、反應爐的這部分連接到廠房設(shè)施的排氣系統(tǒng)上，此系統(tǒng)包含一個廢氣處理器來進行廢氣處理、