表面絕緣體
發(fā)布時間:2015/10/28 20:42:39 訪問次數(shù):510
二氧化硅被歸類為絕緣材料,K4H561638F-TCB3這意味著在正常情況下它不導電。當它用于電路或器件時,它們被稱為絕緣體( insulator),作為絕緣體是二氧化硅扮演的一個重要角色。圖7.3表示了一個晶圓的橫截面,二氧化硅層的上面是一層金屬導電層。氧化層使得金屬層不會與下面的金屬層短路,就像電線的絕緣材料保護電線不會短路一樣。氧化層的這種能力要求氧化層必須是連續(xù)的,膜中不能有空洞或孔存在。
氧化層必須足夠厚,以避免感應(yīng)( induction)現(xiàn)象的產(chǎn)生。感應(yīng)產(chǎn)生于足夠薄的金屬層,以至于電荷在晶圓表面產(chǎn)生聚積效應(yīng)。表面電荷可導致短路及不希望的電荷影響。足夠厚的膜層可防止在晶圓表面感應(yīng)產(chǎn)生電荷。絕大多數(shù)晶圓表面被覆蓋了一層足夠厚的氧化層來防止從金屬層產(chǎn)生的感應(yīng),這被稱為場氧化物( field oxide)。
二氧化硅被歸類為絕緣材料,K4H561638F-TCB3這意味著在正常情況下它不導電。當它用于電路或器件時,它們被稱為絕緣體( insulator),作為絕緣體是二氧化硅扮演的一個重要角色。圖7.3表示了一個晶圓的橫截面,二氧化硅層的上面是一層金屬導電層。氧化層使得金屬層不會與下面的金屬層短路,就像電線的絕緣材料保護電線不會短路一樣。氧化層的這種能力要求氧化層必須是連續(xù)的,膜中不能有空洞或孔存在。
氧化層必須足夠厚,以避免感應(yīng)( induction)現(xiàn)象的產(chǎn)生。感應(yīng)產(chǎn)生于足夠薄的金屬層,以至于電荷在晶圓表面產(chǎn)生聚積效應(yīng)。表面電荷可導致短路及不希望的電荷影響。足夠厚的膜層可防止在晶圓表面感應(yīng)產(chǎn)生電荷。絕大多數(shù)晶圓表面被覆蓋了一層足夠厚的氧化層來防止從金屬層產(chǎn)生的感應(yīng),這被稱為場氧化物( field oxide)。
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