溫度控制系統(tǒng)把緊靠反應(yīng)管的熱電偶連接到分段比例控制器上，K5D12571CM-D090分段比例控制器把能量加到加熱爐絲卜。分段比例控制器按照爐管與設(shè)定值的差值按比例開關(guān)通向爐絲的電流以保持爐管里的溫度均勻。溫度越接近設(shè)定值，供給爐絲的能量就越少。此系統(tǒng)可以使?fàn)t管在沒有過沖的狀態(tài)下，快速恢復(fù)到冷態(tài)狀態(tài)。偏差調(diào)整一直在進(jìn)行，直到爐管恒溫區(qū)的溫度達(dá)到設(shè)定值。

   過沖( overshoot)現(xiàn)象是由于控制溫度時(shí)，給線圈施加了太多的能量，以至于溫度超過設(shè)定值的一神現(xiàn)象（見圖7. 17）7射。

   對(duì)于較大直徑的晶圓，我們要關(guān)心晶圓的翹曲問題（見圖7. 18）。硅比二氧化硅膨脹更快。當(dāng)加熱時(shí)，二氧化硅將硅拉成凹面形�？焖俚募訜岷屠鋮s使得晶圓翹曲到不可用的程度。在超過11500C時(shí)，隨著溫度的升高，翹曲的程度會(huì)越高。