熱電偶緊靠著石英爐管和控制電源。它們把溫度信號發(fā)回比例控制器， K4X51323PG-8GC60JR這樣依次靠熱輻射和熱傳導加熱反應(yīng)爐管。熱輻射來源于爐絲的能量蒸發(fā)和爐管的反射。傳導發(fā)生在爐絲和爐管接觸處�？刂破鞣浅碗s，可以通過控制使得中央?yún)^(qū)( flat  zone)的溫度精度達到±0.5℃，，對于一個在1000℃反應(yīng)的工藝來講，溫度變化只有±0.05%。對于氧化工藝，晶圓被放在承載器中，置f恒溫區(qū)( flat zone)，氧化氣體進入石英爐管，在那里發(fā)生氧化反應(yīng)。

   圖7.16具有3個加熱區(qū)的水平單爐管式反應(yīng)爐的截面圖

   生產(chǎn)中的石英反應(yīng)爐是一個由7種不同部件組成的集成系統(tǒng)：

   1．反應(yīng)室

   2．溫度控制系統(tǒng)

   3．反應(yīng)爐

   4．氣體柜

   5．晶圓清洗臺

   6．裝片臺

   7．工藝自動化

   水平石英爐管的一個缺點是在溫度高于1200℃時爐管趨于破碎和下陷。破碎是一種退化( devitrification)并導致石英爐管表面的剝落掉到晶圓上。