對(duì)于較大直徑晶圓， OM6357EL/3C3/5A水平式反應(yīng)爐是氧化設(shè)備的選擇”。，

   對(duì)于更大直徑的水平式反應(yīng)爐來講，也會(huì)有相應(yīng)的工藝問題。其中一個(gè)是如何保證氣流是層流狀態(tài)。層流狀態(tài)(laminar gas flow)是均勻的、無氣體分離的、不產(chǎn)生不均勻反應(yīng)的湍流。

   這些考慮導(dǎo)致了垂直式反應(yīng)爐( VTF)的開發(fā)，它選擇更高的生產(chǎn)量、更大直徑工藝的配置㈦，在這種配置里，爐管被設(shè)計(jì)成垂直狀態(tài)（見圖7. 20），從底部或頂部裝載晶圓，但爐管材料和加熱系統(tǒng)與水平式反應(yīng)爐一樣（見圖7. 21）。

   圖7.21  垂直式反應(yīng)爐截面圖

   晶圓被裝入標(biāo)準(zhǔn)的片架中，降低或升高到恒溫區(qū)( flat zone)。這個(gè)運(yùn)動(dòng)過程中不會(huì)使片架刊擦到爐管內(nèi)壁而產(chǎn)生顆粒。在這種結(jié)構(gòu)里，可以最大密度地裝載晶圓到爐管里；垂直式反廊爐的另…個(gè)好處是晶圓可以在爐管里旋轉(zhuǎn)，這可以使晶圓的溫度更均勻。垂直式反應(yīng)爐和水平式反應(yīng)爐擁有同樣的子系統(tǒng)。