每個爐管需要一定數(shù)量的不同氣體來完成所要求的化學(xué)反應(yīng)。在氧化反應(yīng)的例子里，K5D5613ECM作為氧化劑的氧氣和水蒸氣已被詳細(xì)論述過。幾乎所有的爐管工藝都有通入氮氣的能力。氮氣用來在裝片或卸片時防止意外氧化。在待機(jī)狀態(tài)時，氮氣一直在流過爐管。這些氮氣流用于保持系統(tǒng)的潔凈和維持之前建立的恒溫區(qū)。

   每個工藝要求氣體以一定的次序、壓力、流量和時間流入爐管。用來調(diào)節(jié)氣體的設(shè)備附著在爐管部分，稱為氣體柜( source cabinet)。還有個獨立單元稱為氣體控制面板(gas control pan-l)或氣體流量控制器(gas flow controller)．它連到每個爐管上�？刂泼姘逵呻姶砰y、壓力表、質(zhì)量流量計或流量計、過濾器和計時器組成。在最簡單的系統(tǒng)里，氣體控制器由手動閥和計時器組成。、在生產(chǎn)系統(tǒng)里，進(jìn)入爐管的各種氣體的先后次序和時間是由微處理器來控制的．工藝所需的氣體被接到面板上。在操作時，計時器打開電磁閥門讓所需的氣體流入面板。壓力由壓力表來控制，進(jìn)入爐管的流量由流量計或質(zhì)量流量計控制。