堆疊厚度和成分的評估
發(fā)布時(shí)間:2015/11/11 19:17:35 訪問次數(shù):765
隨著各種材料的堆疊，REF102AP晶圓頂層變得越來越復(fù)雜。通過包括在淀積工藝中的監(jiān)測晶圓，可以測量每種材料的厚度和成分。然而，它們在電路內(nèi)和表面上的效果來自厚度和成分的組合。在線(in situ)確定這些參數(shù)的一種組合的機(jī)器是采用電子束和X射線譜（見圖14. 32），．將電子束直接照射在疊層上，它依次打出X射線。在樣品排放周圍的一系列X射線譜儀分析這些射線。因?yàn)槊糠N厚度和材料的組合產(chǎn)生一個獨(dú)特的信號，在線計(jì)算機(jī)能進(jìn)行分析和確定疊層的厚度和每種成分一20。
隨著各種材料的堆疊，REF102AP晶圓頂層變得越來越復(fù)雜。通過包括在淀積工藝中的監(jiān)測晶圓，可以測量每種材料的厚度和成分。然而，它們在電路內(nèi)和表面上的效果來自厚度和成分的組合。在線(in situ)確定這些參數(shù)的一種組合的機(jī)器是采用電子束和X射線譜（見圖14. 32），．將電子束直接照射在疊層上，它依次打出X射線。在樣品排放周圍的一系列X射線譜儀分析這些射線。因?yàn)槊糠N厚度和材料的組合產(chǎn)生一個獨(dú)特的信號，在線計(jì)算機(jī)能進(jìn)行分析和確定疊層的厚度和每種成分一20。
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