解決表面污染物問題通常需要r解其化學(xué)狀態(tài)。對表面氯元素的觀測， NAND256W3A2BN6E俄歇電子譜結(jié)果并不能確定它是以鹽酸還是以三氯化苯的形式存在。對氯形態(tài)的確定有利于r解和消除污染的來源：

   用于化學(xué)分析的電子分光鏡( ESCA)是一種可以用來決定表面化學(xué)性質(zhì)的儀器。、這種儀器的工作原理和俄歇技術(shù)相似。然而，X射線代替電子束被用做轟擊射線。通過轟擊，表面釋放光電子。通過對光電子信息的分析，可以得知污染物的化學(xué)成分。遺憾的是，電子分光鏡的化學(xué)分析( ESCA)的X射線比許多集成電路特征尺寸還寬。光束的直徑限制其只能進(jìn)行微米數(shù)量級(jí)的表面分析。正好相反，俄歇電子束的寬度可以達(dá)到零。

   飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜法

   飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜法( TOF-SIMS)表面分析能使用許多入射射線源，例加，釹YAG激光、銫離子束或鎵離子束18一。

   對于這種方法，激發(fā)能量以脈沖式傳輸和電離表面材料，產(chǎn)生二次電子，并將其加速到質(zhì)譜儀。在質(zhì)譜儀中，測量每個(gè)離子從表面出來的飛行時(shí)間。這個(gè)飛行時(shí)間指示表面的元素種類。二次離子質(zhì)譜法分析還能決定結(jié)點(diǎn)的深度。飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜法可取樣至卜分之幾埃的深度㈠9“。并有區(qū)別有機(jī)物和無機(jī)物的能力，這些都是實(shí)驗(yàn)室分析的主要手段。