在工藝過程中，REF200AU對實際元器件參數(shù)進行直接測量是十分必要的。這些通常是對測試芯片中的特定器件或劃片線中的特定結(jié)構(gòu)進行測量。

   通過這些電學(xué)測最可以得到大量關(guān)于工藝的信息。這里我們會解釋基本測試和造成器件損失的主要常見因素，這些測試通常稱為參數(shù)電測( parametric testing)。它是在整個工藝流程的最后，對晶圓進行測試時，對器件電性能參數(shù)進行測量，而不是測試器件或電路的整體功能。一個完整的器件和工藝的問題處理不在此討論范圍。

   器件電學(xué)測量的基本設(shè)備要求是：(1)探針臺，它將探針定位在器件七．(2)開關(guān)箱用來施加電壓、電流、器件的極性；(3)顯示結(jié)果的方法。當同時測量許多器件時，探針固定在印制電路板上，我們稱它為探針卡( probe card)。這里的測試號和晶圓電測工藝的測試卡相同。探測結(jié)果將通過示波器或特別的數(shù)字伏特計上的數(shù)值顯示出來。示波器所顯示的曲線，橫軸表示電壓，縱軸表示電流。它顯示了每種測量的電壓或電流之間的關(guān)系。對于每種測試接下來的部分是濕示取樣測試結(jié)果。處于量產(chǎn)階段時，進行數(shù)字化測試，并在讀出器上顯示其結(jié)果。這些測量系統(tǒng)有儲存和收集數(shù)據(jù)的能力。

   在先進的系統(tǒng)里，探針臺可自動按順序探測幾個芯片。開關(guān)可自動允許設(shè)備按已預(yù)定的順序進行一系列測試。自動系統(tǒng)還包括測試結(jié)果的打印輸出和對數(shù)據(jù)的分析。就像手動操作一樣，系統(tǒng)會對其單個測試給出解釋。示波器上顯示的電壓、電流形狀和關(guān)系對理解器件是如何工作的非常有幫助。所有器件的測量方法基本相同。用接觸探針對元件施加電壓，測量流過接觸點間電流。