隨著多數(shù)產(chǎn)業(yè)的成熟，HY57V561620FTP-H-C技術(shù)日趨穩(wěn)定，而市場(chǎng)在拉動(dòng)需求的增長(zhǎng)，這樣的技術(shù)和市場(chǎng)條件是工藝自動(dòng)化的前提。從20世紀(jì)40年代開(kāi)始，石油提煉的自動(dòng)化將工人的數(shù)量降低了50%[9j。而到20世紀(jì)70年代，當(dāng)半導(dǎo)體工藝設(shè)備設(shè)計(jì)成可以接收裝在片匣中的晶圓時(shí)，導(dǎo)體加工的自動(dòng)化也就開(kāi)始了。從那以后，半導(dǎo)體業(yè)的自動(dòng)化就向著夢(mèng)想中的完全“無(wú)人無(wú)燈光”的芯片廠邁進(jìn)。自動(dòng)化階段從單純的工藝設(shè)備發(fā)展到整個(gè)工廠。

    工藝自動(dòng)化

   自動(dòng)化的第一步就是工藝自身的自動(dòng)化。大多數(shù)半導(dǎo)體設(shè)備，從定義上說(shuō)，都是將工藝的一部分自動(dòng)化。先刻膠的勻膠機(jī)自動(dòng)地將底膠和光刻膠以正確的速率及合適的時(shí)間涂在晶圓表面。自動(dòng)氣體流量控制器將氣體以正確的流量、正確的壓力和正確的時(shí)間通進(jìn)設(shè)備中去。工藝的自動(dòng)化通過(guò)降低對(duì)操作員的技能、培訓(xùn)、狀態(tài)和疲勞程度的依賴性而帶來(lái)了工藝和產(chǎn)品的一致性。

   多數(shù)設(shè)備是通過(guò)編在隨機(jī)的計(jì)算機(jī)中的一系列指令來(lái)控制的。程序被稱為“處方”( recipe)。處方由操作員或通過(guò)中央主機(jī)裝載到機(jī)器中。