下一個(gè)自動(dòng)化水平是加載和卸載晶圓。業(yè)界已經(jīng)將前開【�！烤A片匣( Front-OpeningUnified Pod，F(xiàn)OUP)確立為主要的晶圓承載體和傳輸體。FOUP通過多種機(jī)械原理被放置在機(jī)器、升降機(jī)和／或晶圓抽取器上，HY5DU281622ET-J或是用機(jī)械手將晶圓輸送特定的工藝室、旋轉(zhuǎn)卡盤上等。在某些工藝中，如一些工藝反應(yīng)管，整個(gè)片匣都放在工藝反應(yīng)室中。這一自動(dòng)化水平稱為“單按鈕”操作。通過一個(gè)按鈕，操作員激活加載系統(tǒng)，晶圓被加工然后再回到片匣中。在工藝周期的最后，機(jī)器發(fā)出警報(bào)聲或點(diǎn)亮指示燈，操作員再將片匣移走。

   有些機(jī)器具有緩沖存放系統(tǒng)，使工藝過程總可以有新的晶圓準(zhǔn)備被加工（或給圖形化設(shè)備的放大掩模版），從而使機(jī)器的效率最大化。這些被稱為儲(chǔ)料器( stocker)。操作員將FOUP放在機(jī)器的上載器上，按下開始鍵，其后的工芑過程就交給機(jī)器來做。在直徑300 mm及以上的晶圓，采用單片晶圓處理設(shè)備，晶圓可以在獨(dú)立承載器中被傳輸。