圖11.13 (a)所示為同軸式干涉輪廓儀的光路原理圖。激光器1發(fā)出的已穩(wěn)頻的雙縱模激光是偏振面相互垂直的線偏振光，分光器2將光束分為參考光束和干涉光束，AAT3242ITP-QY-T1其中參考光束通過與偏振方向成45。角放置的偏振片P45。以后，會聚到雪崩管3并轉(zhuǎn)化為電信號，作為參考信號。干涉光束由平面鏡5反射，再由方解石晶體6分為兩束光，其中O光通過方解石晶體的中軸線聚焦于物鏡9的后焦面，然后變?yōu)槠叫泄馐�，它是干涉輪廓儀的參考臂。E光偏向方解石晶體6的左邊，最后聚焦在試件表面成為測量光斑。由于透鏡9和物鏡11是可以更換的，所以試件表面上參考光斑的直徑可以從O.l mm到2 mm變化。圖11.13 (b)所示為光路的細部，當使用數(shù)值孔徑為0.95的物鏡時，測量光斑直徑可小于或等于l um。當參考光斑的直徑足夠大時，參考臂已不受表面微小起伏變化的影響，而具有小到l岬測量光斑的測量臂則可檢測被測表面輪廓的微小變化。相位計12接收來自4的測量信號和來自3的參考信號。測量信號中包含由輪廓變化引起的多普勒頻移值A(chǔ)f。