CCD作為一種新型的光電器件，在精AAT3520IGY-3.08-50-T1密測(cè)量及自動(dòng)檢測(cè)領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。與其他光電器件相比，CCD有許多優(yōu)點(diǎn)，它體積小，可靠性好，響應(yīng)速度快，動(dòng)態(tài)范圍大，有準(zhǔn)確恒定的光敏元件幾何尺寸和間隔，不需附加機(jī)械結(jié)構(gòu)，完全依靠電學(xué)方法完成對(duì)空間信息的采樣轉(zhuǎn)換、存儲(chǔ)和輸出，具有較高的采樣速率。按照光敏元件排列結(jié)構(gòu)的不同，CCD可分為線陣和面陣。線陣CCD可完成一維光強(qiáng)空間分布的探測(cè)，而面陣CCD能完成二維全場(chǎng)光強(qiáng)空間分布的探測(cè)。

    圖11.24所示為CCD作為光電轉(zhuǎn)換和定量基準(zhǔn)，實(shí)現(xiàn)零件外形尺寸非接觸測(cè)量的基本原理。從圖11.24可得被檢零件的影像尺寸，三為CCD器件之間的距離；Ⅳ1、Ⅳ2為CCDi和CCD2的陣列像素；ni、玎2分別為CCDi和CCD2的亮光敏像素；P為光敏單元間隔尺寸。如果系統(tǒng)光學(xué)放大倍數(shù)為屆則零件的外形尺寸，通過(guò)測(cè)量亮光敏元件數(shù)ni和，z2，即可實(shí)現(xiàn)零件一維尺寸D的檢測(cè)。因此，當(dāng)采用面陣CCD作為光電探測(cè)器時(shí)，通過(guò)在二維空間測(cè)量亮光敏元件的坐標(biāo)位置，即可實(shí)現(xiàn)被測(cè)零件二維全場(chǎng)形位的檢測(cè)。

   CCD用于幾何尺寸測(cè)量的上述二值化處理方法，其測(cè)量分辨率受光敏元間距尸的約束，其單邊測(cè)量分辨率為1個(gè)光敏單元。為了減小這種約束，提高測(cè)量精度，提出了多種提高線陣CCD尺寸分辨率的解調(diào)方法，如菲涅耳直邊衍射法等。

   除此之外，CCD被廣泛用于圖像和干涉條紋檢測(cè)，精度可達(dá)微米級(jí)，可實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)記錄和結(jié)果顯示。