均勻性是指在整個(gè)芯片視場(chǎng)內(nèi)測(cè)量的一致性。它和激發(fā)光的均勻性、探測(cè)器的均勻性、GRM31MR71E225KA93L樣品的時(shí)間性都有著直接的關(guān)系。如果均勻性控制不好，會(huì)影響到結(jié)果的真?zhèn)�。�?/span>光共聚焦掃描儀的特點(diǎn)限制了成像的焦深，通常只有幾微米，要保持整個(gè)芯片的探測(cè)均勻性，就意味著給掃描運(yùn)動(dòng)的平整度和樣片的平整度提出了嚴(yán)格的要求，這就大大增加了儀器的加工難度和成本，放大針孔．力口大了焦深，但同時(shí)也犧牲了均勻性，增加了噪聲；另外，長(zhǎng)時(shí)間的逐點(diǎn)掃描，對(duì)有些不穩(wěn)定熒光染料，使得前后點(diǎn)的時(shí)間差異大而引起探測(cè)信號(hào)的衰減，也是一個(gè)影響均勻性的原因。CCD檢測(cè)儀的探測(cè)均勻性與激發(fā)光源、CCD探測(cè)器的均勻性有關(guān)，目前國(guó)外的CCD檢測(cè)儀對(duì)激發(fā)光源的照明均勻性只做了一般處理，照明均勻性只能達(dá)到士15%左右，通過(guò)定期對(duì)標(biāo)準(zhǔn)樣片進(jìn)行測(cè)定，測(cè)出整個(gè)照明視場(chǎng)的不均勻性，在每次芯片檢測(cè)中通過(guò)校正軟件對(duì)信號(hào)進(jìn)行修正，這種方法不是實(shí)時(shí)校正，并且激發(fā)光能對(duì)發(fā)射熒光的激發(fā)作用也存在非線性的影響，因此這種方法也有很大的局限性。

   激光共聚焦掃描儀每個(gè)像素的曝光時(shí)間比CCD檢測(cè)儀的還短，但激光照明每單位時(shí)間星有很多高尖峰，這些尖峰毛刺足以造成樣片光脫色，不僅降低了芯片的再成像能力，而且也降低了圖像獲取中的圖像數(shù)據(jù)更新。每個(gè)熒光探測(cè)器的非線性光脫色都會(huì)降低計(jì)算比的完整性。相反，CCD檢測(cè)儀在照明期間具有較低的光通密度，這就大大降低了光脫色的危險(xiǎn)。