雜質(zhì)原子從一個原子間隙運動到相鄰的另一個原子間隙,依靠間隙運動方式而逐步跳躍前進的擴散機理, AD7892BR-3稱為間隙式擴散,如圖2.5所示。O、Au、Ag、Cu、Zn、Mg、Fc和№等半徑較小的重金屬雜質(zhì)原子,不易與硅原子鍵合,―般按間隙式進行擴散。

   這種雜質(zhì)原子大小與Si原子大小差別較大,雜質(zhì)原子進入硅晶體后,不占據(jù)晶格格點的正常位置,而是從一個硅原子間隙到另一個硅原子間隙逐次跳躍前進。鎳、鐵等重金屬元素等是此種方式。

間隙雜質(zhì)在間隙位置上的勢能相對極小,相鄰的兩個間隙之間,對間隙雜質(zhì)來說是勢能極大位置,也就是說間隙雜質(zhì)要從一個間隙位置運動到相鄰的間隙位置上,必須要越過一個勢壘,勢壘高度叱一般為0.6~1。⒛V。

   間隙雜質(zhì)一般情況下只能在勢能極小位置附近作熱振動,振動頻率=1013/s~1014/s,平均振動能≈kΓ,在室溫下只有0.朧6eV,就是在1⒛0℃的高溫下也只有0.13cV。因此,間隙雜質(zhì)只能依靠熱漲落才能獲得大于勢壘高度的能量,越過勢壘跳到近鄰的間隙位置上。