方塊電阻(Sheet Rcsistance)即擴(kuò)散層電阻,又簡稱方阻。其定義為正方形的半導(dǎo)體薄層,A3242LLHLT-T在電流方向所呈現(xiàn)的電阻,單位為歐姆每方(Ω/□)。簡單來說,方塊電阻就是指導(dǎo)電材料單位厚度單位面積上的電阻值,其大小可以反映出半導(dǎo)體中摻雜的比例,因此擴(kuò)散后要測量此參數(shù)。

  方塊電阻的定義。對于一塊均勻的導(dǎo)體,其導(dǎo)電能力與材料的電阻率p、長度z以及橫截面積s都有關(guān),方塊電阻指一個正方形的擴(kuò)散層邊到邊之間的電阻,如圖2.9所示。若擴(kuò)散薄層是邊長為z的正方形,而結(jié)深為均勹,貝刂這個小方塊所呈現(xiàn)的電阻就是方塊電阻

Rs,由此可見,薄層電阻只與電阻率和薄層的厚度有關(guān),而與邊長無關(guān)。由于薄層電阻測量簡單,工藝過程中常用測量它來判斷擴(kuò)散層的質(zhì)量是否符合工藝設(shè)計要求。