方塊電阻的測(cè)量。擴(kuò)散后A3242LUA要測(cè)量方塊電阻,檢驗(yàn)雜質(zhì)濃度的控制情況。測(cè)量方塊電阻通常采用四探針?lè)?如圖2.10所示。

   其中,/為內(nèi)側(cè)探針的電位差,即電位差計(jì)的讀數(shù)(mV);J為外側(cè)探針的電流值(mA)。由于被測(cè)樣品的形狀、大小、探針間距等都不同,所以要對(duì)結(jié)果進(jìn)行修正,Κ為修正因子。修正因子可以從表2.7中查得,表中給出了圓形、正方形、長(zhǎng)方形樣品的修正因子。其中,s是探針間距,D是圓形樣品的直徑,歹為垂直探針列的一邊長(zhǎng),L為平行探針列的一邊長(zhǎng)。

   在相鄰兩端加電流,測(cè)另外兩端的電壓,一共可測(cè)出四組值,然后再用電壓除以電流即可得到薄層的電阻值,即Rf(/12/f34+殤3/J。1+‰o/J1廣‰1%3)抑,用微電子測(cè)試圖形測(cè)量薄層的方塊電阻時(shí),為了方便起見,都采用對(duì)稱的圖形結(jié)構(gòu)和電極