這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于常見的灰塵已經(jīng)是小得微乎其微,但是OP249GSZ對(duì)于半導(dǎo)體器件而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無(wú)塵是必須的要求。

   根據(jù)單位體積塵埃數(shù)的不同,超凈間分為不同的等級(jí),如表3.9所示。以直徑為0.5um的塵埃作為比較標(biāo)準(zhǔn),在一立方英寸空間中大于0.5um的塵埃粒子數(shù)少于10粒,就稱為10級(jí)潔凈空間,大于0.5um的粒子數(shù)少于1000個(gè),就稱為1000級(jí)潔凈空間。目前許多半導(dǎo)體生產(chǎn)線都要求潔凈度為1級(jí)。表3.10列出了美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E中各凈化間級(jí)別對(duì)空氣漂浮顆粒的限制。