污染控制的成功與否與確認(rèn)污染源是息息相關(guān)的。許多分析顯示機(jī)械設(shè)備是最大的微粒污染源。 OP249GS-REEL到20世紀(jì)⒇年代為止,設(shè)備引發(fā)的微粒升至所有污染源的75%~⒇%,但這并不意味機(jī)械設(shè)備變得越來(lái)越臟。由于對(duì)空氣、化學(xué)品與生產(chǎn)人員污染的控制越來(lái)越先進(jìn),使得設(shè)備變?yōu)槲廴究刂频慕裹c(diǎn)。

   超凈閭的等級(jí)劃分

   普通的空氣中含有大量微�；蚋m等污染物,只有經(jīng)過(guò)處理后才能進(jìn)入超凈間。超凈間的潔凈度是由空氣中微粒的大小和微粒的含量來(lái)決定的。通過(guò)天花板的HEPA過(guò)濾器實(shí)現(xiàn)空氣過(guò)濾,并從地板上回收空氣,保持持續(xù)的潔凈空氣流。

   按照國(guó)際慣例,無(wú)塵凈化級(jí)別主要根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn) 的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō),所謂無(wú)塵并非1OO%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的范圍內(nèi)。