原材料氣源供應系統(tǒng)的功能是向反應室內輸運和提供各種反應氣源。通過配A1109AS-H-1R6N置高精密的質量流量計、壓力控制計、特殊設計的精密閥門等,該系統(tǒng)可以精確控制氣源的供應量、供應時間和順序,以及流過反應室的總氣體流量與流速等,生長出所需要的高質量外延材料。氣源供應系統(tǒng)主要包括Mo源供應子系統(tǒng)、氫化物供應子系統(tǒng)和特殊設計的生長/放空(Run/Vcnt)多路組合閥等組成。

   除氣源的精確供應與有效控制外,該系統(tǒng)的設計與配置還需同時具備良好的氣密性和使用與操作上的便捷性。例如,源氣供應系統(tǒng)一般都與真空管路、氮氣管路相連,它們平時都用閥門隔絕。這樣的設計便于引入氮氣等對設備進行“吹掃”和清潔,同時,也可對

管道與系統(tǒng)通過與真空抽氣連結而實現有效排氣,清空系統(tǒng)內的雜質和殘留的污染物等。而且,這樣的設計也能保持設備內外氣密隔絕,維持管道和系統(tǒng)內部的超凈環(huán)境,保障外延的高純生長質量。另外,系統(tǒng)還會設置檢漏口和異常情況下戶動切換到安全狀態(tài)的功能配置。