MOCVD設(shè)備中一般包括原材料氣源供應(yīng)系統(tǒng)、電氣及自動(dòng)控制系統(tǒng),以及原位監(jiān)測系統(tǒng),如圖15所示。 HD64F2357F20反應(yīng)室是整個(gè)MOCVD設(shè)備最為核心的部分。

   原材料氣源供應(yīng)系統(tǒng)的功能是向反應(yīng)室內(nèi)輸運(yùn)和提供各種反應(yīng)氣源。通過配置高精密的質(zhì)量流量計(jì)、壓力控制計(jì)、特殊設(shè)計(jì)的精密閥門等,該系統(tǒng)可以精確控制氣源的供應(yīng)量、供應(yīng)時(shí)間和順序,以及流過反應(yīng)室的總氣體流量與流速等,生長出所需要的高質(zhì)量外延材料。氣源供應(yīng)系統(tǒng)主要包括Mo源供應(yīng)子系統(tǒng)、氫化物供應(yīng)子系統(tǒng)和特殊設(shè)計(jì)的生長/放空(Run/Vcnt)多路組合閥等組成。