由于在探頭保持恒定高度掃描時很有可能撞到表面造成損傷,所以通常會通過反饋系統(tǒng)來實現探頭與樣品片表面的距離恒定。傳統(tǒng)設備中,ADP3308樣品被放在壓電管上并可以在z方 向移動以保持與探頭之間的恒定距離,在x、y方向上移動來實現掃描�；蛘卟捎靡环N“三腳架”技術,在3個方向上實現掃描,這種方法部分抑制了壓電管掃描時所產生的扭曲效應。在較新的設計中,探針被裝載在垂直壓電掃描器上,ADP3211AMNR2G而用另外的壓電結來掃描樣品的艿和`方向。掃描的結果z=/←,D就是樣品的形貌圖,如圖l-30所示。

   AFM可以在不同模式下運行。這些模式可以被分為靜態(tài)模式(Static M0dc),也稱接觸模式(Contact Modc),或其他一系列動態(tài)模式(Dynamic Modc),如非接觸模式(Non~ContactModc)、輕敲模式(Tapping Modc)、側向力模式 (Latcral F0rcc Modc)。

   在采用接觸模式時,探針與樣品表面直接接觸,測量兩者之間的斥力可獲得測試圖像。在輕敲模式中,探針以一定的頻率輕敲樣品表面,通過測量探針的位置來獲得圖像。在非接觸模式中,探針在樣品表面上方作諧振運動,測量探針與樣品表面之間的斥力以獲得樣晶表面的圖像。探針在掃描樣品表面時,需要有精密的反饋系統(tǒng)來維持壓電掃描裝置具有恒定的力,或維持該裝置與樣品表面的距離恒定。當探針掃描樣品表面時,一束聚焦的激光束打在連接探針的懸臂上并發(fā)生反射,反射光束被探測器偵測。來自探測系統(tǒng)的反饋經

控制軟件分析,輸出指令來維持探針保持恒力狀態(tài)或恒高度狀態(tài),最終實現對樣品表面的探測。