AFM懸臂的大小在數(shù)十至數(shù)百微米,通常由硅或者氮化硅構(gòu)成,其上裝有探針,探針尖端的曲率半徑在納米量級(jí)。當(dāng)探針被放置到樣品表面附近時(shí),ADM812懸臂上的探針頭會(huì)因受到樣品表面的范德瓦耳斯力而彎曲偏移。偏移由射在微懸臂上的激光束反射至光敏二極管陣列而測(cè)量到(如圖1-29所示),較薄的懸臂表面常鍍有反光材質(zhì)以增強(qiáng)反射。其他方法還包括光學(xué)干涉法、電容法和壓電效應(yīng)法u刨。這些探頭通常采用壓電效應(yīng)的變形測(cè)量器制成。通過(guò)惠斯登電橋,探頭的形變可以被測(cè)得,不過(guò)這種方法沒(méi)有激光反射法或干涉法靈敏。

  圖⒈29 原子力顯微鏡激光束反射探測(cè)原理