透射電子顯微鏡(Transmissioll Electron Microscopc,TEM),簡(jiǎn)稱透射電鏡,第一臺(tái)TEM由馬克斯・克諾爾和恩斯特・魯斯卡于1931年研制而成,是以波長(zhǎng)極短的電子束為照明源,用電磁透鏡聚焦成像的一種高分辨、 ADP3309高放大倍數(shù)的電子光學(xué)儀器。TEM由電子光學(xué)系統(tǒng)、電源與控制系統(tǒng)以及真空系統(tǒng)3部分組成。

   透射電鏡的原理是把經(jīng)加速和聚集的電子束投射到一定厚度的樣品上,電子與樣品中的原子發(fā)生碰撞改變方向,產(chǎn)生立體角散射。散射角的大小與樣品的本身性質(zhì),如密度、 厚度等相關(guān),因此可以形成具有不同對(duì)比度的影像,影像在放大、聚焦后在成像器件(如熒光屏、膠片、以及感光耦合組件)上顯示出來,如圖⒈31所示。

   由于電子的德布羅意波長(zhǎng)非常短,TEM的分辨率比光學(xué)顯微鏡高的很多,可以達(dá)到01nm左右,放大倍數(shù)高達(dá)幾萬(wàn)到百萬(wàn)倍。因此,使用透射電子顯微鏡可以觀察樣品的精細(xì)結(jié)構(gòu),甚至可以觀察材料中原子的排列,比光學(xué)顯微鏡所能夠觀察到的最小結(jié)構(gòu)小數(shù)萬(wàn)倍。TEM在物理學(xué)和生物學(xué)等相關(guān)諸多科學(xué)領(lǐng)域都是重要的表征分析方法,是材料科學(xué)、納米技術(shù)、半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)分析的重要手段。