圖形化工藝是半導體工藝過程中最重要的工序之一
發(fā)布時間:2017/1/29 16:57:30 訪問次數(shù):814
圖形化工藝是要在晶圓內(nèi)和表面層建立圖形的一系列加工,這些圖形根據(jù)集成電路中物理“部件”(器件)的要求來確定其尺寸和位置。 AD8018AR-REEL7這一章介紹‘步基本圖形化工藝流程的前4步,并討論光刻膠的化學性質(zhì)。
圖形化工藝還包括光刻( Photolithography)、光掩模(Photomasking)、掩模(Masking)、去除氧化膜( Oxide Removal,OR)、去除金屬膜(Metal Removal,MR)和微光刻(Microlithography)、,圖形化工藝是半導體工藝過程中最重要的工序之一,它是用來在不同的器件和電路表面仁建立圖形的工藝過程。這個工藝過程的目標有兩個:
1.在晶圓中和表面上產(chǎn)生圖形,這些圖形的尺寸在集成電路或器件設計階段建立.
2.將電路圖形相對于晶圓的晶向及以所有層的部分對準的方式,正確地定位于晶圓上。
除了兩個結果外,有許多工藝變化;蛘呦薅ňA表面層被去除部分(孔),或者限定晶圓表面層留下部分(島)。
正確的放置彼稱為各種電路圖形的對準( Alignment)或注冊(Registration)。一種集成電路工藝要求40個以上獨立的光刻(或掩模)步驟。圖形定位的要求就好像是一幢建筑物每一層之間所要求的正確對準。
圖形化工藝是要在晶圓內(nèi)和表面層建立圖形的一系列加工,這些圖形根據(jù)集成電路中物理“部件”(器件)的要求來確定其尺寸和位置。 AD8018AR-REEL7這一章介紹‘步基本圖形化工藝流程的前4步,并討論光刻膠的化學性質(zhì)。
圖形化工藝還包括光刻( Photolithography)、光掩模(Photomasking)、掩模(Masking)、去除氧化膜( Oxide Removal,OR)、去除金屬膜(Metal Removal,MR)和微光刻(Microlithography)、,圖形化工藝是半導體工藝過程中最重要的工序之一,它是用來在不同的器件和電路表面仁建立圖形的工藝過程。這個工藝過程的目標有兩個:
1.在晶圓中和表面上產(chǎn)生圖形,這些圖形的尺寸在集成電路或器件設計階段建立.
2.將電路圖形相對于晶圓的晶向及以所有層的部分對準的方式,正確地定位于晶圓上。
除了兩個結果外,有許多工藝變化;蛘呦薅ňA表面層被去除部分(孔),或者限定晶圓表面層留下部分(島)。
正確的放置彼稱為各種電路圖形的對準( Alignment)或注冊(Registration)。一種集成電路工藝要求40個以上獨立的光刻(或掩模)步驟。圖形定位的要求就好像是一幢建筑物每一層之間所要求的正確對準。
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