氣壓表示為英磅每平方英寸( psia)，大氣壓或G20N60RUFD托(Torr)①。一個(gè)大氣壓就是在特定溫度下包圍地球的大氣壓力。這樣，高壓氧化系統(tǒng)在5個(gè)大氣壓下工作，其壓力是大氣壓的5倍。

    空氣的大氣壓為14.7 psia，在氣缸中氣壓要用psig或英磅每平方英寸來表示。這意味著儀表的讀數(shù)是絕對的，它并不包括外界的大氣壓。

   真空( vacuum)也是在半導(dǎo)體工藝中要遇到的術(shù)語和情況，它實(shí)際上是低壓的情況。一般來說，壓力低于標(biāo)準(zhǔn)大氣壓就認(rèn)為是真空。真空條件是用壓力單位來衡量的。

   低壓傾向于用托來表示。這個(gè)單位是以意大利科學(xué)家托里切利( Torricelli)命名的，他存氣體和其性質(zhì)領(lǐng)域做出了很多重要發(fā)現(xiàn)。1托就是壓力計(jì)中1毫米汞柱( manometer)所對應(yīng)。

   想象當(dāng)壓力超過大氣壓時(shí)對壓力計(jì)中水銀柱的影響。當(dāng)壓力升高，在盤子里的水銀受壓而使水銀柱升高�，F(xiàn)在想象當(dāng)氣體從系統(tǒng)中抽走形成真空時(shí)會(huì)怎樣只要有任何氣體分子或原子在壓力計(jì)中，施加在盤中的水銀上的壓力就會(huì)很小，從而水銀柱就會(huì)升高一點(diǎn)點(diǎn)但很有限。水銀柱變化是毫米( mm)級的，是與壓力相關(guān)的，或者在這種隋況下是與真空有關(guān)的。

   蒸發(fā)、濺射和離子都工作在10娟~10卅托的真空（壓力）。如果將其轉(zhuǎn)換為只有一個(gè)簡單壓力計(jì)的真卒系統(tǒng)，這就意味著水銀柱才0. 000 000 001（1×10棚）N0.00 000 1(1 x10'6)mm高，非常小的長度。在實(shí)踐中，水銀壓力計(jì)是不能測量這么低的壓力的，而是使用其他更靈敏的壓力表。