外延置藝是受氣相質(zhì)量傳遞過程和表面外延過程所控制的,所以外延生κ速率也就主要由這兩個過程中較慢的一方?jīng)Q定。

   溫度對生長速率的影響

   氣相質(zhì)量傳遞過程的快慢主要由外延劑氣相擴散穿越邊界層的速度決定。冷壁式LD1117S50CTR外延反應(yīng)器中的溫度分布。主流氣體溫度遠(yuǎn)低于外延溫度,但也遠(yuǎn)高于室溫,邊界層與基座接觸一側(cè)的溫度最高,是外延溫度,溫度梯度主要集中在邊界層內(nèi)。

   在式(3△3)中,氣相擴散系數(shù)Dg是表征氣相物質(zhì)在邊界層中擴散快慢的參數(shù),是溫度的函數(shù),有DR為邊界層的平均溫度,溫度升高擴散系數(shù)增加。邊界層的厚度a岜是溫度的函數(shù),溫度升高,氣體分子的熱運動加劇,氣體黏度略有增大;而氣體密度隨溫升而降低卻更顯著。例如,溫度由700℃升高至1200℃時,氫氣黏度由200×1O6酊(cm・s)增加到250×1O6g/(cm・s).