在MKS單位制中,氣體壓力以帕(Pa)為基本單位,在有些書(shū)籍和真空設(shè)備中也常用托(torr)表示,l torr=133,32Pa。真空度與大氣壓(atm)的換算關(guān)系:1atm=01MI)a,1蔽m=760torr。如圖⒏3所示是旋轉(zhuǎn)葉片式機(jī)械泵的剖視圖,BCM5753KFBG機(jī)殼內(nèi)偏心的轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng),葉片由人口端捕捉的氣體,隨著葉片轉(zhuǎn)動(dòng)和氣體通道體積的縮小被壓縮,當(dāng)葉片轉(zhuǎn)至氣體出口端時(shí)出口閥打開(kāi),氣體排出。在機(jī)殼內(nèi)裝有泵油,一是用來(lái)封閉機(jī)殼和葉片之間的空隙,避免氣體由高壓出口進(jìn)人低壓人口;二是起潤(rùn)滑作用。機(jī)械泵是初級(jí)真空設(shè)備,一般I作在一個(gè)大氣壓下,入口端的極限真空度可達(dá)101Pa。如圖84所示是使用最多的機(jī)械泵照片。

    高真空、超高真空的獲得通常是在初級(jí)泵氣體入口端串接次級(jí)泵,即由兩級(jí)或二級(jí),甚至更多級(jí)泵系統(tǒng)構(gòu)成。常用的次級(jí)泵是擴(kuò)散泵,如圖85所示是擴(kuò)散泵剖面照片。擴(kuò)散泵的工作方式是通過(guò)加熱器為泵體底部的擴(kuò)散泵油加熱使之揮發(fā),蒸氣流從中央疊塔部的孔洞噴出,碰到已被水冷的泵 體后立即凝結(jié)回流至泵體底部,如此循環(huán)。而從氣體人口流人的氣體分子擴(kuò)散到泵油蒸氣流中,并被裹挾在泵油中流向泵體下部濃集,之后被與氣體出口相連的初級(jí)泵抽走。擴(kuò)散泵是通過(guò)泵油向氣體分子轉(zhuǎn)移動(dòng)量,從而實(shí)現(xiàn)氣體分子被抽吸排出的。擴(kuò)散泵的壓縮比可達(dá)10:,一般工作在1~106Pa真空度范圍。如果氣體入口壓力在分子流范圍,擴(kuò)散泵有很高的抽速。大多數(shù)擴(kuò)散泵是不能在大氣中T作的,否則泵油會(huì)和空氣中的氧氣發(fā)生化學(xué)反應(yīng)被氧化而失效。擴(kuò)散泵在使用不當(dāng)?shù)那闆r下,油蒸氣不是在泵中凝結(jié),而是回流進(jìn)入真空室或后級(jí)泵,造成污染。擴(kuò)散泵系統(tǒng)可以使用隔離或者冷阱來(lái)清除大多數(shù)回流的泵油,因?yàn)檫@個(gè)原因,當(dāng)需要非常高的潔凈度時(shí),一般不采用擴(kuò)散泵。