與擴散泵類似的還有分子泵。分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動量傳輸給氣體分子,使之獲得 BCM5786KMLG定向速度,從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級泵抽走的一種真空泵:分子泵有3種:①牽引分子泵,氣體分子與高速運動的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動量,被驅(qū)送到泵的出口。②渦輪分子泵,是靠高速旋轉(zhuǎn)的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實現(xiàn)抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。如圖⒏6所示是渦輪分子泵剖視圖。③復合分子泵,是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來的一種復合型的分子真空泵。分子泵相對于擴散泵來說更清潔。

   為獲得清潔的超高真空,三級泵還常采用氣體吸附泵,如低溫泵、鈦升華泵等。