真空系統(tǒng)中的氣體壓力,即真空度可以用多種不同的真空計  圖⒏6 渦輪分子泵剖視圖(又稱真空規(guī))來測量。常用的真空計主要有電容壓力計、 BCM5906MKMLG熱偶規(guī)、電離規(guī)和復(fù)合真空計。

   (1)電容壓力計屬于機械類的規(guī)表,依靠待測真空室和參考容積之間的壓力差異來產(chǎn)生機械上的偏移,電容壓力計就是捕捉薄的金屬隔膜的偏移。電容壓力計無污染,與被測工藝氣體種類無關(guān),測量范圍是低真空度。

   (2)熱偶規(guī)是利用熱電偶的電勢與加熱元件的溫度有關(guān),而元件的

溫度又與氣體的熱傳導(dǎo)有關(guān)的原理來測量真空度的真空計。如圖⒌7所示是熱偶規(guī)構(gòu)造原理圖,恒定電流通過加熱絲,使之加熱,熱的加熱絲通過氣體熱傳導(dǎo)對外散熱,真空度越高氣體散熱越慢,加熱絲溫度也就越高;反之,溫度就越低。用熱電偶測出加熱絲的溫度,從而得出真空室的真空度。熱偶規(guī)的測量范圍是低、中真空度。

   (3)電離規(guī)又稱熱陰極電離計,由筒狀收集極、柵網(wǎng)和位于柵網(wǎng)中心的燈絲構(gòu)成,筒狀收集極在柵網(wǎng)外面。熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子,離子被收集極收集,根據(jù)收集的離子流的大小來測量氣體壓強。熱陰極在真空度低于102Pa的空氣中可能被氧氣氧化而熔斷,因此電離規(guī)的測量范圍是真空度高于102Pa的高、超高真空度。

   (4)復(fù)合真空計由熱偶規(guī)與熱陰極電離計組成,測量真空度范圍從

正常大氣壓至105Pa。

   (5)⒊A規(guī)是一種陰極與收集極倒置的熱陰極電離計。收集極是一根細絲,放在柵網(wǎng)中心,燈絲放在柵網(wǎng)外面,因而可以減小軟X射線影響,延伸測量下限,可測超高真空度。