真空蒸鍍(Vactlum Evapora0on)又稱為真空蒸發(fā),是把裝有襯底的真空室抽吸至高真空度,然后BCM7035RKPB1加熱源材料使其蒸發(fā)或者升華,形成源蒸氣流人射到襯底表面,最終在襯底凝結(jié)形成固態(tài)薄膜的一種工藝技術(shù)。

    工藝原理

   以真空蒸鍍方法制各薄膜,可將其分解為3個(gè)基本過(guò)程:蒸發(fā)過(guò)程、氣相輸運(yùn)過(guò)程、成膜過(guò)程。通過(guò)分析這3個(gè)基本過(guò)程來(lái)看蒸鍍薄膜的工藝原理。蒸發(fā)過(guò)程是蒸發(fā)源原子(或分子)從固體或液體表面逸出成為蒸氣原子的過(guò)程。固態(tài)物質(zhì)受熱(或其他能量)激發(fā),溫度升高至熔點(diǎn),熔化,再升至沸點(diǎn),蒸發(fā);或者由固態(tài)直接升華為氣態(tài)。對(duì)大多數(shù)金屬及化合物源而言,需要加熱至熔化之后才能有效地蒸發(fā)。只有少數(shù)源材料,如Mg、Cd、Zn等是直接升華的。

   在任何溫度條件下,固態(tài)(或液態(tài))物質(zhì)周圍環(huán)境中都存在著該物質(zhì)的蒸氣,平衡時(shí)的蒸氣壓強(qiáng)被稱為該物質(zhì)的平衡蒸氣壓,又稱飽和蒸氣壓。只有當(dāng)周圍環(huán)境中該物質(zhì)的蒸氣分壓低于它的平衡蒸氣壓時(shí),才可能有該物質(zhì)的凈蒸發(fā)。任何物質(zhì)的平衡蒸氣壓都是溫度的函數(shù),隨著溫度升高而迅速增大。