靜電(static electricity)定義為材料表面的電子不平衡導(dǎo)致的帶電電荷。這種不N25Q128A13EF840F平衡產(chǎn)生的電荷可以產(chǎn)生電場并且可以影響一定距離之外的物體。靜電放電(Elcctro~staticⅡschargc,ESD)定義為兩個具有不同電勢的物體之間的電荷轉(zhuǎn)移。靜電放電可以改變半導(dǎo)體器件的電學(xué)特性,降低其性能或者破壞器件。靜電放電還有可能阻礙電子系統(tǒng)的正常工作,導(dǎo)致設(shè)備故障。帶有靜電的表面會吸引小的污染物,導(dǎo)致材料維護(hù)困難。當(dāng)在硅晶的表面或電路的表面存在靜電時,會吸附空氣中的飄浮物,導(dǎo)致隨機(jī)的晶面缺陷和降低產(chǎn)量。要控制靜電放電對器件的損壞,首先要明確靜電是如何產(chǎn)生的。靜電一般通過兩種材料的接觸和分離產(chǎn)生。例如,一個人走過地毯會產(chǎn)生靜電電荷,因為他的鞋底接觸了地毯表面然后分離。電子器件在裝進(jìn)或拿出包里時,也會產(chǎn)生靜電電荷,因為器件的外殼或引腳與容器的表面發(fā)生了接觸和分離。盡管帶靜電的強(qiáng)度難以計算,但一定是產(chǎn)生了靜電。

   這種通過接觸和分離產(chǎn)生靜電的方式稱為摩擦起電。摩擦過程中兩物體得電荷還是失電荷取決于物體本身的材料電學(xué)特性。但是我們一般在表示靜電帶電量時,一股用靜電勢表示,也就是電壓。材料接觸分離帶電的實際過程比上述描述要更復(fù)雜。摩擦帶電的靜電電荷量與接觸的面積、分離的速度、空氣相對濕度和材料的化學(xué)性質(zhì)等很多因素有關(guān)。靜電電荷可能會從原表面轉(zhuǎn)移,形成EsD。其他的因素,如放電電路的阻抗,接觸表面的接觸電阻都會影響到放電的電荷量大小。