光刻膠的靈敏度越高
發(fā)布時(shí)間:2017/10/26 21:27:30 訪問次數(shù):1596
光刻膠的靈敏度越高,通常伴隨著較短的光酸擴(kuò)散長度(空間像的保真程度越高,分辨率越高),SC101332CVR400B因?yàn)檫@種光刻膠一般不太依賴曝光后烘焙,因而可能導(dǎo)致一定程度的圖形粗糙程度。不過,如果同時(shí)提高光酸產(chǎn)生劑濃度,這種情況可以得到改善。光刻像的對(duì)比度的提高可以減少圖形粗糙程度,如圖7.37所示。
接觸孔(contact)和通孔(vh)的圓度同圖形粗糙程度類似。它也跟光酸擴(kuò)散、光酸的濃度,以及空間像對(duì)比度、和光刻膠顯影對(duì)比度相關(guān)。這里就不作一一討論。
光刻膠的靈敏度越高,通常伴隨著較短的光酸擴(kuò)散長度(空間像的保真程度越高,分辨率越高),SC101332CVR400B因?yàn)檫@種光刻膠一般不太依賴曝光后烘焙,因而可能導(dǎo)致一定程度的圖形粗糙程度。不過,如果同時(shí)提高光酸產(chǎn)生劑濃度,這種情況可以得到改善。光刻像的對(duì)比度的提高可以減少圖形粗糙程度,如圖7.37所示。
接觸孔(contact)和通孔(vh)的圓度同圖形粗糙程度類似。它也跟光酸擴(kuò)散、光酸的濃度,以及空間像對(duì)比度、和光刻膠顯影對(duì)比度相關(guān)。這里就不作一一討論。
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