TCC叫做傳輸交叉系數(shù)(transmission crossc。cfficient),圖7.65為其幾何示意圖。 V68ZA10以上算式表達的物理含義是,對于-個部分相干光照明的系統(tǒng),可以通過將面光源上每一點的照明成像看成是相干照明成像,然后再把面光源上的每一點所成像的光強相加起來,這叉叫做相干系統(tǒng)疊加(Sum of Coherent Systems,⒏)CS)。T(rC是對光源在光瞳上分布的二重積分,式(758)顯示的另外4重積分是由于對一個二維傅里葉積分(兩重積分)的平方。這種算法的好處在于可以對某一種照明條件先行計算TCC,然后再對掩膜版函數(shù)進行4重積分,提高了計算速度,這適用于對大量圖形進行計算,比如對芯片級的圖形進行快速計算。

   對于I藝研發(fā)等對運算速度不高的計算,我們可以采用先計算相干照明下的結(jié)果,取得光強分布函數(shù)后將不同的角度照射光的貢獻累加起來的方法。不過,以上的含有傳輸交叉系數(shù)表達式是針對數(shù)值孔徑不太大的標量場的。在目前的大數(shù)值孔徑(>0.65)甚至浸沒式光刻技術(shù)大量使用的情況下,這種標量的計算越來越不能夠滿足T業(yè)生產(chǎn)的要求。阿蘭・羅森布魯士在~90O4年提出了沿用以上相干系統(tǒng)疊加數(shù)學形式,并且加上矢量光場和偏振的算法,限于篇幅,這里就不再討論,具體見參考文獻。