TCC叫做傳輸交叉系數(shù)(transmission crossc。cfficient),圖7.65為其幾何示意圖。 V68ZA10以上算式表達(dá)的物理含義是,對(duì)于-個(gè)部分相干光照明的系統(tǒng),可以通過將面光源上每一點(diǎn)的照明成像看成是相干照明成像,然后再把面光源上的每一點(diǎn)所成像的光強(qiáng)相加起來,這叉叫做相干系統(tǒng)疊加(Sum of Coherent Systems,⒏)CS)。T(rC是對(duì)光源在光瞳上分布的二重積分,式(758)顯示的另外4重積分是由于對(duì)一個(gè)二維傅里葉積分(兩重積分)的平方。這種算法的好處在于可以對(duì)某一種照明條件先行計(jì)算TCC,然后再對(duì)掩膜版函數(shù)進(jìn)行4重積分,提高了計(jì)算速度,這適用于對(duì)大量圖形進(jìn)行計(jì)算,比如對(duì)芯片級(jí)的圖形進(jìn)行快速計(jì)算。

   對(duì)于I藝研發(fā)等對(duì)運(yùn)算速度不高的計(jì)算,我們可以采用先計(jì)算相干照明下的結(jié)果,取得光強(qiáng)分布函數(shù)后將不同的角度照射光的貢獻(xiàn)累加起來的方法。不過,以上的含有傳輸交叉系數(shù)表達(dá)式是針對(duì)數(shù)值孔徑不太大的標(biāo)量場的。在目前的大數(shù)值孔徑(>0.65)甚至浸沒式光刻技術(shù)大量使用的情況下,這種標(biāo)量的計(jì)算越來越不能夠滿足T業(yè)生產(chǎn)的要求。阿蘭・羅森布魯士在~90O4年提出了沿用以上相干系統(tǒng)疊加數(shù)學(xué)形式,并且加上矢量光場和偏振的算法,限于篇幅,這里就不再討論,具體見參考文獻(xiàn)。