如果確定圖形的走向?yàn)閄或者Y,而且圖形當(dāng)中,關(guān)鍵空間頻率分布在0,5^/NA與^/NA之間,那么, UC3714D最佳的照明條件是偶極照明。不過(guò),如果關(guān)鍵圖形當(dāng)中含有孤立的圖形,離軸照明并不好,因?yàn)樗鼘⒑艽笠徊糠止庋苌涞焦馔馊チ恕Ｈ鐖D7.89中的右半邊的衍射級(jí)(+1級(jí))。所以,對(duì)于孤立的圖形,我們叉需要相對(duì)較小的部分相干性照明。這樣,就出現(xiàn)了混合照明方式,如圖7,88所示。

　到了21世紀(jì),仿真I具變得十分發(fā)達(dá),人們還可以根據(jù)所需成像的圖形用電腦運(yùn)算,計(jì)

　算出最佳的照明條件。不僅如此,我們還可以將掩膜版同照明條件一起進(jìn)行優(yōu)化,叫做照明-掩膜優(yōu)化(source Mask Optimization,SM())。早期的想法由羅森布魯士(Roscnbluth)等人在9lD01年提出。