通常頂部圓弧相當(dāng)于頂部線寬CD的收縮,已經(jīng)證明了頂部圓弧形狀最薄弱的點(diǎn)會導(dǎo)致VBD特性變差,如圖8,44所示。M/OX1K821W同時,從缺少聚合物△藝得到的頂部圓弧,可能會帶來更差的側(cè)壁粗糙度。所有這些都表示LRM步驟也是一個控制VBD性能的關(guān)鍵點(diǎn)。比較小的側(cè)壁粗糙度將帶來更好的VBD特性。

    最好的R(特性來自側(cè)向刻蝕的形狀(見圖8.迮5),而最差的由底腳形狀得到。然而,從可靠性的角度來看,無論是側(cè)向刻蝕,還是底腳形狀都不是所需要的。最大的挑戰(zhàn)是如何得到最好的R‘特性,同時叉沒有底腳或者是側(cè)向刻蝕的形狀。根據(jù)缺乏/富含聚合物和其均勻性的觀點(diǎn)選擇刻蝕氣體是實(shí)現(xiàn)這一日標(biāo)的關(guān)鍵。