原子力顯微鏡(Atomic Force Microscopy,AFM)是掃描探針顯微鏡(Scanning ProbcMicros∞pe,SPM)的一種,它利用非常細(xì)小的探針,非常緩慢地在材料表面移動(dòng),SA1117BH-3.3V以接觸或非接觸的方式,根據(jù)探針和材料表面的相互作用,來(lái)探知材料表面的細(xì)微結(jié)構(gòu),如原子的規(guī)則排列、表面形貌(topography)等。

   儀器結(jié)構(gòu)

   原子力顯微鏡主要的構(gòu)成組件有探針、探針定位與掃描裝置、作用力檢測(cè)部分、反饋控制單元等。

    探針

   探針可能經(jīng)常與樣品表面接觸,為避免針尖彎折或斷裂,探針材料需選擇較硬的金屬,鎢絲是最常用的材料。鎢絲經(jīng)過(guò)電化學(xué)腐蝕,形成尖端半徑為數(shù)十納米的探針,再經(jīng)由聚焦 離子束切削加工后,可獲得尖端半徑更小的探針。探針的尖端大小和探針形狀直接影響AFM的平面分辨率,通常,探針越尖,圖像的平面分辨率越高。