探針的定位與掃描需要非常高的尺寸精度,囚此掃描部件一般都使用壓電陶瓷元件,在空間的XYz方向上各使用一個(gè)元件,可以實(shí)現(xiàn)探針的精確的移動(dòng)控制。SA1117BH-5.0V

   作用力檢測(cè)部分

   在原子力顯微鏡(AFM)的系統(tǒng)中,所要檢測(cè)的力是原子與原子之間的范德華力。所以在本系統(tǒng)中是使用微小懸臂(cantilevcr)來檢測(cè)原子之問力的變化量。微懸臂通常由一個(gè)一般100~500um長(zhǎng)和500nm~5um厚的硅片或氮化硅片制成。微懸臂頂端有一個(gè)尖銳針 尖,用來檢測(cè)樣品與針尖間的相互作用力。這微小懸臂有一定的規(guī)格,例如長(zhǎng)度、寬度、彈性系數(shù)以及針尖的形狀,而這些規(guī)格的選擇是依照樣品的特性以及操作模式的不同,而選擇不同類型的探針。