失效機制分類
發(fā)布時間:2017/11/19 17:29:21 訪問次數(shù):592
對于工藝引起的yiCld loss,按照失效的特征分為兩大類:參數(shù)性(par【amctric)和功能性(functionaD失效。OMAP1510GZZG1一般的理解,功能性失效,往往由于物理缺陷引起,習(xí)慣上也被稱為hard fail或者缺陷性失效,而參數(shù)性失效,往往由于器件電參數(shù)的不優(yōu)化或者漂移超出規(guī)格引起,習(xí)慣上也被稱為soR fad。
對于功能性失效,根據(jù)在wafer表面的空間分布特征(spa】ial distribution),又可分為隨機性(random)和系統(tǒng)性(systematic)失效。 如果認(rèn)為parametric,random,systematic失效的機制是相互獨立的.yield可以分解為二部分的乘積yield=yrηd。n∶×Y、y`tmh1 Y"mnk1" (175)由于parametric失效從空間分布特征也可以分為random和systematic失效,有時候也可能出現(xiàn)分類之間的交叉,如圖17.10所示。在本章中,為方便計算和理解失效機制,除非特別指明,random失效特指隨機性缺陷失效,而systematiC失效特指系統(tǒng)性缺陷失效。
對于工藝引起的yiCld loss,按照失效的特征分為兩大類:參數(shù)性(par【amctric)和功能性(functionaD失效。OMAP1510GZZG1一般的理解,功能性失效,往往由于物理缺陷引起,習(xí)慣上也被稱為hard fail或者缺陷性失效,而參數(shù)性失效,往往由于器件電參數(shù)的不優(yōu)化或者漂移超出規(guī)格引起,習(xí)慣上也被稱為soR fad。
對于功能性失效,根據(jù)在wafer表面的空間分布特征(spa】ial distribution),又可分為隨機性(random)和系統(tǒng)性(systematic)失效。 如果認(rèn)為parametric,random,systematic失效的機制是相互獨立的.yield可以分解為二部分的乘積yield=yrηd。n∶×Y、y`tmh1 Y"mnk1" (175)由于parametric失效從空間分布特征也可以分為random和systematic失效,有時候也可能出現(xiàn)分類之間的交叉,如圖17.10所示。在本章中,為方便計算和理解失效機制,除非特別指明,random失效特指隨機性缺陷失效,而systematiC失效特指系統(tǒng)性缺陷失效。
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